1、安裝狀態(tài)/安裝模式
為了使用激光位移傳感器測量目標(biāo)物,需要接收器獲取目標(biāo)物的反射光。為了使三角測量方式的激光位移傳感器可適當(dāng)接收反射光,需根據(jù)目標(biāo)物的表面狀態(tài),傾斜安裝傳感頭。
2、參考距離
通過激光位移傳感器測量目標(biāo)物時,測量值為0的點。一般表示從傳感頭的下面到測量范圍中心的距離。
3、測量范圍
表示激光位移傳感器可測量目標(biāo)物位移量的范圍。一般以參考距離為基準(zhǔn),表示±○○mm。比如:參考距離:30 mm,測量范圍:±5 mm,表示激光位移傳感器可在以下范圍內(nèi)測量目標(biāo)物。
4、光源
在激光位移傳感器中使用光線從發(fā)射器對目標(biāo)物照光,并用接收器接受其反射光。該光源可使用紅色半導(dǎo)體激光、藍(lán)色半導(dǎo)體激光、白光、SLD、綠色LED等多種光。依照測量儀原理決定使用哪種光源,并使用光源相應(yīng)的鏡頭和光接收元件等,可實現(xiàn)高精度的測量。
5、光點直徑
激光位移傳感器一般包括2種光點直徑。分為橢圓形狀的光點直徑和小光點型的光點直徑。
橢圓形狀的光點直徑可測量橢圓內(nèi)的平均高度,因此不易受到目標(biāo)物表面粗糙度誤差的影響。但光點尺寸變大,因此不適于測量形狀和較小部位。
而小光點型的光點直徑光點較小,可有效測量形狀或細(xì)微部位,但同時還會跟蹤表面粗糙度,與橢圓形狀的光點直徑相比,易于受到表面粗糙度誤差的影響。
6、重復(fù)精度
表示重復(fù)測量目標(biāo)物定點時的偏差。
7、直線性
直線性是表示激光位移傳感器性能的指標(biāo)。表示理想值與實際測量結(jié)果誤差的最大值。例如,使用直線性為±5μm的測量儀移動1㎜的目標(biāo)物時,表示所顯示的值可能包含±5μm的誤差(9.995μm至1.005μm)。
直線性的規(guī)格規(guī)定為±○○%of F.S.,F(xiàn).S.表示測量范圍,可按以下示例進(jìn)行計算。直線性越小的測量儀越可稱之為越好的測量儀。
8、溫度特性
溫度特性表示傳感頭的溫度變化1度時所發(fā)生的測量值誤差的最大值。在傳感頭的內(nèi)部中,使用了鏡頭或CMOS及固定這些構(gòu)件的夾具。因溫度變化,上述構(gòu)件會發(fā)生膨脹或收縮,且成像在CMOS上的光點位置變化會產(chǎn)生誤差。
9、環(huán)境光照
表示激光位移傳感器可不受外部光線影響進(jìn)行測量的外部光源的最大照度。
10、環(huán)境溫度
保證測量儀動作的溫度環(huán)境。
11、相對濕度
保證測量儀動作的濕度環(huán)境。
12、抗震動
表示對激光位移傳感器振動影響的指標(biāo)。
13、采樣周期/采樣速度
表示激光位移傳感器在1秒內(nèi)可測量的數(shù)據(jù)點數(shù)。采樣周期為100 Hz的激光位移傳感器在每秒可進(jìn)行100次測量。采樣周期越快的激光位移傳感器越可準(zhǔn)確測量在線移動的目標(biāo)物,或可進(jìn)行較多單一時間內(nèi)的平均化處理,因此能穩(wěn)定測量值。
14、接收光波形
表示光接收元件接收到的光的狀態(tài)為接收光波形。縱軸表示光的強(qiáng)度,橫軸表示光接收元件上的位置。通過確認(rèn)接收光波形的形狀,可判斷是否準(zhǔn)確進(jìn)行當(dāng)前測量。
①理想的接收光波形
可穩(wěn)定測量的接收光波形。
②接收光波形的高度較低時
無法獲得充足的反射,因此無法進(jìn)行測量。
③接收光波形的高度過高時
處于飽和狀態(tài)。此時,測量值的偏差變大。
④接收光波形的形狀左右不對稱時
測量樹脂等時,激光將進(jìn)入目標(biāo)物中,使得接收光波形左右更加不對稱。
此時的測量值將根據(jù)進(jìn)入量平移實際值。
⑤存在多條接收光波形時
測量玻璃等透明目標(biāo)物時,會產(chǎn)生1條以上的峰值。測量玻璃時,可獲得表面反射峰值和里面反射峰值總計2條峰值。
15、光軸、光軸區(qū)域
將激光位移傳感器發(fā)射器照射的光的中心軸稱為光軸。
光軸區(qū)域圖表示從發(fā)射器到接收器的光的路徑。若在該區(qū)域內(nèi)放入夾具等,則光不會照射到目標(biāo)物或接收器,因此無法進(jìn)行測量。
16、電源電壓
驅(qū)動產(chǎn)品時所需的電源電壓。如果為24 VDC±10%的規(guī)格,則表示直流電源,需要電壓24 V變動量在±2.4 V以內(nèi)的電源。
17、最大消耗電流
驅(qū)動產(chǎn)品時所消耗的電流量。使用的電源需要選擇比該最大消耗電流容量還大的產(chǎn)品。